控(kong)製和維(wei)護無塵車間的淨化程度，不隻(zhi)是需要(yao)硬(ying)設備的搭配與投(tou)入(ru)。而(er)且還一定要(yao)有優秀的軟件調配係統的“井上添花”就可以維(wei)持好無塵室所需要(yao)潔淨程度的標(biao)準(zhun)。也(ye)要(yao)借助人員的管理、設備、原(yuan)料和無塵室內所需物品進行細(xi)分討論。無塵室主要(yao)的運作係統有空調係統、還有製程係統。

  控(kong)製和維(wei)持無塵室的淨化程度要(yao)從汙染源入(ru)手，經(jing)測試分析得(de)出結果室內的微汙染來源80%都(du)來自作業人員，汙染源可以分成內、外兩種汙染源。其中生產設備、作業人員、分割材料、各種生產使用的工具材料統稱(chen)為內部微汙染，另(ling)外無塵室所使用的空調送風係統及材料、工作的服裝縫(feng)隙進入(ru)汙染、液(ye)體和氣(qi)體等統稱(chen)為外汙染。假(jia)如微小的塵粒(li)子附著在矽(gui)芯片(pian)上，便(bian)造(zao)成集成電路線路短路或(huo)著變形，矽(gui)芯片(pian)就不能(nen)工作運行了。無塵室維(wei)護的重(zhong)要(yao)環節是控(kong)製微汙染源，主要(yao)有三大環節；

一、外微塵子汙染之防範(fan)：

  無塵室適當保持正壓(ya)>0.5mmAq，做好運作係統的不漏(lou)氣(qi)，物品和人員做好除塵工作後(hou)再進入(ru)無塵室，適當設置管理空氣(qi)過濾(lv)器。

二、室內微塵子之杜絕：

  地板、分隔板等無塵室裝修(xiu)材料的適當選(xuan)用、生產設備的發塵抑製、生產自動化設備及人員不聚集、動作放鬆、衣(yi)服潔淨的管理、使用無塵室專(zhuan)用器。牆壁(bi)體應(ying)光(guang)滑無死角、無塵室需定期保養和清(qing)掃、製程設備四周(zhou)應(ying)留(liu)有空間。

三、發生微塵子之清(qing)楚：

  足(zu)夠(gou)的換(huan)氣(qi)次數，空間設計合理、汙染源反複排氣(qi)和空調的氣(qi)流速度應(ying)適當。室內之空調及清(qing)掃關係之問題(ti)。物品和人進入(ru)無塵室的管理規(gui)範(fan)、合理設計定做符(fu)合實際(ji)作業條(tiao)件與工程管理的無塵室。